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機臺特點:
包括：明場,暗場,DIC襯度,偏光和落射熒光。多可以在物鏡轉換器上安裝五個物鏡。特別適用于在高倍率物鏡時對產品觀察測量。
型號及產品參數
2010（測量范圍：X軸200mm,Y軸100mm）
3020（測量范圍：X軸300mm,Y軸200mm）
4030（測量范圍：X軸400mm,Y軸300mm）
4030（測量范圍：X軸400mm,Y軸300mm）
5040（測量范圍：X軸500mm,Y軸400mm）
6060（測量范圍：X軸600mm,Y軸600mm）
Z軸測量范圍：150mm,
顯示器分辨率：0.001um\0.0005um\0.0001um可選配
應用于：半導體封裝,焊接貼片,環路高度,FPD面板（LCM）,MEMS,晶片級CPS,硬盤滑行磁頭。
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